超纯水概念及技术工艺比较

电子工业超纯水概述　半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用用到大量的高纯水资源。集成电路的集成度越高，对水质的要求也就越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术大体分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以用来区分不同的水质。 制备电子工业用超纯水的工艺流程　 电子行业制备超水的技术工艺大体分为以下几种：　　1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点　2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本技术流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点　　3、采用反渗透水处理设备与EDI设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的最新技术工艺，也是一种环保、经济、发展潜力巨大的超纯水制备技术工艺手段，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点三种制备电子工业用超纯水的工艺比较 目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同的组合搭配衍生而来的。现将他们的优缺点分别列于下面：　　1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，成本较低，占用的面积少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量的酸碱，而且对环境具有一定的破坏性。　2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其主要特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对时间要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。　　3、第三种采用反渗透作为预处理再配上电去离子装置，这是目前制取超纯水最经济的方法，最环保用来制取超纯水的技术工艺，不需要用酸碱进行再生便可以连续取得超纯水，对环境也不会产生什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式较为昂贵。北京中科新远环境工程有限公司主要经营；北京软化水设备、北京实验室纯水设备、北京管式膜设备、北京水处理设备、北京纯水设备